EXTENSIVE ELECTROARC EVAPORATOR OF CURRENT-CONDUCTING MATERIALS

FIELD: electricity. ^ SUBSTANCE: extensive electroarc evaporator of current-conducting materials comprises vacuum chamber, being an anode, cooled cathode of electroarc discharge extended along its longitudinal axis, made of evaporated material and having working evaporation surface arranged along longitudinal axis, and current contact jaws arranged at the opposite ends of cathode and connected to controlled keys electrically connected via individual connection elements and via sensors of cathode spot position with control unit, and connected to DC source connected to anode. It is electrically insulated from anode and cathode by screen of evaporator and is arranged with the possibility of protection against generation of electric arc between walls of vacuum chamber and non-working surfaces of electroarc evaporator of metals, between screen and walls of chamber, and between screen and cathode. ^ EFFECT: safety device of evaporator is arranged with the possibility of power supply disconnection from cathode as it is closed with screen. ^ 11 cl, 1 dwg Изобретение относится к технике ионно-плазменной, ионно-имплантационной обработки и нанесения ионно-плазменных покрытий и может быть применено в машиностроении, преимущественно для ответственных деталей, например рабочих и направляющих лопаток турбомашин. Протяженный электродуговой испаритель токопроводящих материалов содержит вакуумную камеру, являющуюся анодом, охлаждаемый катод электродугового разряда, вытянутый вдоль своей продольной оси, выполненный из испаряемого материала и имеющий расположенную вдоль продольной оси рабочую поверхность испарения, и расположенные с противоположных торцов катода токоподводы, подключенные к управляемым ключам, электрически связанным через индивидуальные элементы включения и через датчики положения катодного пятна с блоком управления, и соединенные с источником постоянного тока, соединенным с анодом. Экран испарителя электроизолирован от анода и катода и выполнен с возможностью защиты от возникновения электрической дуги между стенками вакуумной камеры и нерабочими поверхностями электродугового испарителя металлов, между экраном и стенками камеры и между экраном и катодом. Предохранительное устройство испарителя выполнено с возможностью отключения электрического питания от катода при его замыкании с экраном. 10 з.п. ф-лы, 1 ил.