METHOD OF ANODE FOIL OBTAINMENT

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: invention refers to electronics, particularly to methods of manufacturing of anode foil applicable in solid-state electrolytic condensers with conductive polymer electrolyte. Method involves application of porous layer of valve metal nitride onto both sides of aluminium foil in vacuum chamber, and further oxidation of obtained layer in vacuum chamber with continuous movement of aluminium foil. Valve metal nitride layer is applied by electron-beam evaporation of metal in nitrogen atmosphere or in nitrogen mix with inert gases. Further oxidation of obtained layer is performed in steady-state or impulse magnetron discharge plasma and/or high-frequency discharge plasma of 109 - 1015 cm-3 density. ^ EFFECT: environmentally safe and simple method of obtaining anode foil with high specific capacity. ^ 2 cl, 3 dwg 1 ex Изобретение относится к области электротехники, в частности к способам изготовления анодной фольги, которая может быть использована в твердых электролитических конденсаторах с электролитом из проводящего полимера. Способ включает нанесение в вакуумной камере на обе стороны алюминиевой фольги пористого слоя нитрида вентильного металла и последующее окисление полученного слоя в вакуумной камере при непрерывном перемещении алюминиевой фольги. При этом нанесение слоя нитрида вентильного металла осуществляют путем электронно-лучевого испарения металла в атмосфере азота или в смеси азота с инертными газами. Последующее окисление полученного слоя осуществляют в плазме с плотностью 109 до 1015 см-3 стационарного или импульсного магнетронного разряда и/или высокочастотного разряда. Предложенный экологически безопасный и простой способ позволяет получить анодную фольгу с высокой удельной емкостью. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.