FIELD-EFFECT HALL SENSOR

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: field-effect Hall sensor can be used in measurement technology, security systems, automation and robotics. The field-effect Hall sensor has an insulating substrate on which there is a semiconductor channel made from semiconductor diamond and having two ohmic current-conducting contacts at the ends of the channel and two oppositely lying ohmic Hall contacts on lateral surfaces of the channel whose outer surface is coated with a dielectric layer on the surface of which there is a gate electrode. ^ EFFECT: design of a highly sensitive field-effect Hall sensor with working temperature up to 500C. ^ 3 dwg, 1 tbl Полевой датчик Холла (ПДХ) относится к области электронных датчиков магнитного поля и может быть использован в измерительной технике, системах безопасности, автоматике, робототехнике. ПДХ содержит диэлектрическую подложку с расположенным на ней полупроводниковым каналом, выполненным из полупроводникового алмаза и имеющим два омических токоподводящих контакта на концах канала и два омических холловских противолежащих контакта на боковых поверхностях канала, внешняя поверхность которого покрыта слоем диэлектрика, на поверхности которого расположен электрод затвора. Изобретение позволяет создать высокочувствительный ПДХ с рабочей температурой до 500°С. 3 ил., 1 табл.