FINE-GRAINED ALKALI-EARTH TITANATES AND METHOD OF PRODUCING SAID TITANATES USING TITANIUM OXIDE PARTICLES

FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: method of producing alkali-earth titanates involves reacting compounds of alkali-earth metals with particles of titanium dioxide in a solid phase reaction at temperature below 700C. The titanium dioxide particles have specific surface area (BET) of over 50 m2/g and contain less than 1.5 wt %, preferably less than 0.3 wt %, most preferably less than 0.08 wt % sulphate relative TiO2. Titanium dioxide particles used can contain less than 1000 particles per million of chloride and less than 1000 particles per million of carbon. The obtained alkali-earth titanate has specific surface area (BET) ranging from 5 to 100 m2/g, and does not contain hydroxyl groups, embedded into the crystal lattice. Specific surface area (BET) of an uncrushed sample of alkali-earth titanate after calcination ranges from 5 to 50, preferably from 15 to 40 m2/g. A powdered composition for producing alkali-earth titanate, microelectronic element and method of obtaining it are proposed. ^ EFFECT: invention allows for obtaining fine-grained, high-purity alkali-earth titanates. ^ 42 cl, 5 dwg, 8 ex Изобретение может быть использовано при получении высокодисперсных щелочноземельных титанатов, пригодных для изготовления микроэлектронных компонентов. Способ получения щелочноземельных титанатов включает взаимодействие соединений щелочноземельных металлов с частицами двуокиси титана в твердофазной реакции при температуре ниже 700°С. Частицы двуокиси титана имеют удельную поверхность (BET) свыше 50 м2/г и содержат менее 1,5 вес.%, предпочтительно менее 0,3 вес.%, особенно предпочтительно менее 0,08 вес.% сульфата относительно TiO2. Частицы используемой двуокиси титана могут содержать менее 1000 частиц на миллион хлорида и менее 1000 частиц на миллион углерода. Полученный щелочноземельный титанат имеет удельную поверхность (BET), равную 5-100 м2/г, и не содержит гидроксильных групп, встроенных в кристаллическую решетку. Удельная поверхность (BET) неразмолотого образца щелочноземельного титаната после кальцинирования составляет 5-50, предпочтительно 15-40 м2/г. Предложены порошкообразная композиция для получения щелочноземельного титаната, микроэлектронный компонент и способ его получения. Изобретение позволяет получить высокодисперсные, высокочистые щелочноземельные титанаты. 8 н. и 34 з.п. ф-лы, 5 ил.