DEVICE FOR ANALYSING PERFECTION OF STRUCTURE OF CRYSTALLINE LAYERS

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: device for analysing perfection of the structure of crystalline layers has series-arranged X-ray source, apparatus for monochromatisation and collimation of X-rays, the analysed object with turning apparatus, first energy analyser, first electron detector and X-ray detector. The analysed object, first energy analyser and first electron detector are kinematically linked to each other and are placed in a vacuum chamber. The axis of the first analyser is aligned with the surface of the analysed object and the focal point of the energy analyser is aligned with the X-ray diffraction reflection region. The device also has a second electron detector, second energy analyser, placed in a vacuum chamber in line with the first energy analyser and kinematically linked to the analysed object and the second electron detector. The energy analysers used are spherical mirror type analysers, whose focal points are aligned. The electron detectors are placed on the surface of inner spherical electrodes of the first and second energy analysers at points which are opposite the focal point. ^ EFFECT: more accurate and faster analysis. ^ 2 dwg Использование: для исследования совершенства структуры кристаллических слоев. Сущность: заключается в том, что устройство для исследования совершенства структуры кристаллических слоев содержит последовательно расположенные источник рентгеновского излучения, средства монохроматизации и коллимации рентгеновского излучения, исследуемый объект со средствами поворота, первый энергоанализатор, первый детектор электронов и детектор рентгеновского излучения, причем исследуемый объект, первый энергоанализатор и первый детектор электронов кинематически связаны друг с другом и расположены в вакуумной камере, ось первого анализатора совмещена с поверхностью исследуемого объекта, а фокус энергоанализатора совмещен с областью рентгеновского дифракционного отражения, при этом устройство дополнительно снабжено вторым детектором электронов, вторым энергоанализатором, размещенным в вакуумной камере аксиально с первым энергоанализатором и кинематически связанным с исследуемым объектом и вторым детектором электронов, причем в качестве анергоанализаторов использованы сферические зеркальные энергоанализаторы, фокусы которых совмещены, а детекторы электронов размещены на поверхностях внутренних сферических электродов первого и второго энергоанализаторов в точках, которые противоположны фокальной точке. Технический результат: повышение