METHOD OF PRODUCTION OF HIGH PURITY COBALT FOR SPUTTERING TARGETS

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: processed material in form of cobalt powder is put into reactor made out of refractory material and heated to temperature 700-750C; further de-hydrated hydrogen is run through reactor at rate of supply 300 ml/min during 60 min for heterogenic reduction of cobalt chloride to powder of metallic cobalt. Reduced powder of metallic cobalt is heated to temperature 600-650C in the same reactor; flow of chlorine is run through the reactor at rate of supply 100 ml/min during 30 min for partial chlorination of metal cobalt with preferential formation of chlorides of volatile impurities. Powder of metallic cobalt undergone partial chlorination is pressed into a rod and is subject to electronic vacuum zone re-crystallisation for production of crystals of high pure cobalt. Produced crystals are subject to electronic re-melting in the crystalliser cooled from both sides to whole depth not less, than two times till obtaining a flat ingot with structure of high quality. ^ EFFECT: great increase of purity of cobalt designed for fine film metallisation by magnetron sputtering of targets as cobalt purity substantially determines electro-physical parametres of applied thin layers. ^ 1 dwg, 1 tbl, 1 ex Изобретение относится к способу получения высокочистого кобальта для распыляемых мишеней. Обрабатываемый материал в виде порошка хлорида кобальта помещают в реактор из огнеупорного материала, разогревают до температуры 700-750°С, пропускают через реактор осушенный водород при скорости подачи 300 мл/мин и продолжительности 60 мин для гетерогенного восстановления хлорида кобальта до порошка металлического кобальта. В том же реакторе восстановленный порошок металлического кобальта разогревают до температуры 600-650°С, пропускают через реактор поток хлора со скоростью подачи 100 мл/мин в течение 30 мин для неполного хлорирования металлического кобальта с преимущественным образованием хлоридов легколетучих примесей. Порошок металлического кобальта, прошедший неполное хлорирование, прессуют в пруток, подвергают его электронной вакуумной зонной перекристаллизации до получения кристаллов высокочистого кобальта. Полученные кристаллы подвергают электронному переплаву в охлаждаемом кристаллизаторе с каждой стороны на всю глубину не менее двух раз до получения плоского слитка со структурой высокого качества. Техническим результатом является резкое повышение чистоты кобальта, предназначенного для тонкопленочной металлизации магнетронным распылением мишеней, по