METHOD OF WEAR-RESISTANT COATING RECEIVING

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: invention is directed for increasing of wear-resistance of cutting tool coating. Method includes purification of surface successively in glow discharge, in plasma of magnetron discharge, sputtered cleaning by electroarc evaporators at heating of surface up to 300-350C. Bottom layer of titanium is applied by means of magnetron sputtering of titanic target. Then it is applied interchanging layers of titanium nitride and zirconium nitride in gaseous mixture of inert and reacting gas. Titanium nitride layers are received by magnetron sputtering of titanic target. Zirconium nitride layers are received by electroarc evaporation of zirconium cathode. Top layer of titanium nitride and zirconium are applied, simultaneously implementing magnetron sputtering of titanic target and electroarc evaporation of zirconium cathode in gaseous mixture of inert and reacting gas. In the capacity of reacting gas it is used nitrogen. Efficiency is achieved by means of three-stage precleaning of tool surface and usage of combined method of layers application. ^ EFFECT: development of effective coating method. Изобретение направлено на повышение износостойкости покрытия режущего инструмента. Способ включает очистку поверхности последовательно в тлеющем разряде, в плазме магнетронного разряда, ионную очистку электродуговыми испарителями при нагреве поверхности до 300-350°С. Нижний слой титана наносят магнетронным распылением титановой мишени. Далее наносят чередующиеся слои нитрида титана и нитрида циркония в газовой смеси инертного и реакционного газов. Слои нитрида титана получают магнетронным распылением титановой мишени. Слои нитрида циркония получают электродуговым испарением циркониевого катода. Верхний слой нитрида титана и циркония наносят, одновременно проводя магнетронное распыление титановой мишени и электродуговое испарение циркониевого катода в газовой смеси инертного и реакционного газов. В качестве реакционного газа используют азот. Эффективность достигается за счет трехступенчатой предварительной очистки поверхности инструмента и применения комбинированного метода нанесения слоев.