PLANT TO PRODUCE MULTI-LAYER STRUCTURES

FIELD: mechanics. ^ SUBSTANCE: proposed plant comprises a vacuum chamber, carriage with rotation mechanism, heater with a substrate, ion gun, crystal growth control systems and those to produce and maintain ultrahigh vacuum. Note that it additionally comprises a device arranged aligned with the said ion gun and heater with substrate and incorporating a fixed screen with one hole, separator with one hole running on the axle linked up with its rotation mechanism, as well as tapered detachable target holder with lengthwise slot and with its inner surface supporting the targets fixed thereto. Fixed tapered screen with lengthwise slot and one hole is arranged coaxially with the target holder, the screen inner surface being provided with a replaceable gasket. Note that the holes in the screen, target holder and mask are arranged at equal distance from the axis of rotation of separator. ^ EFFECT: perfected design of device to produce multi-layered structures using ion gun. ^ 3 dwg Изобретение относится к оборудованию для получения микроэлектронных устройств методом ионного распыления. Изобретение направлено на усовершенствование конструкции для получения на подложке многослойных структур, используя одну ионную пушку. Сущность изобретения: в установке для получения многослойных структур, включающей вакуумную камеру, каретку с механизмом вращения, нагреватель с подложкой, ионную пушку, системы контроля процесса роста кристалла, получения и поддержания сверхвысокого вакуума и управления, соосно ионной пушке и нагревателю с подложкой установлено устройство, включающее неподвижный экран с одним отверстием, вращающийся на оси сепаратор с радиальными отверстиями, соединенный со своим механизмом вращения, а также конусообразный съемный держатель мишеней с продольным пазом, на внутренней поверхности которого закреплены мишени, а коаксиально держателю мишеней установлен неподвижно конусообразный экран с продольным пазом и одним отверстием, внутренняя поверхность которого снабжена сменной прокладкой, причем отверстия в экране, держателе мишеней и маске находятся на одинаковом расстоянии от оси вращения сепаратора. 3 ил.