INTEGRATED MICROMECHANICAL ACCELEROMETER GYROSCOPE

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: in device, containing two inertial masses forming parallel-plate capacitors with electrodes of capacitive transformers of travels at the expense of their full overlapping, and immobile electrodes, with edge structures, forming electrostatic interaction with the immobile electrodes of electrostatic drive units twenty four additional electrodes of capacitive transformers of the travels forming with inertial masses parallel-plate capacitors at the expense of partial overlapping of combs interpenetrating each other of electrodes, and four additional mobile electrodes of electrostatic drive units are entered into the planes of their plates through lateral backlashes and combs of electrodes interpenetrating each other. ^ EFFECT: possibility of measuring quantities of angular velocity and acceleration along axes X and Y, located crossly perpendicularly in substrate plane, and axis Z guided perpendicularly the substrate plane. ^ 2 dwg Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения. В устройство, содержащее две инерционные массы, образующие с электродами емкостных преобразователей перемещений плоские конденсаторы за счет их полного перекрытия, и неподвижные электроды, введены двадцать четыре дополнительных электрода емкостных преобразователей перемещений, образующих с инерционными массами плоские конденсаторы за счет частичного перекрытия взаимопроникающих друг в друга гребенок электродов, и четыре дополнительных подвижных электрода электростатических приводов с гребенчатыми структурами, образующих электростатическое взаимодействие с неподвижными электродами электростатических приводов в плоскости их пластин через боковые зазоры и взаимопроникающие друг в друга гребенки электродов. Техническим результатом является возможность измерения величин угловой скорости и ускорения вдоль осей Х и Y, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости подложки, и оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки. 2 ил.