METHOD FOR MAKING PHOTO-TEMPLATE BLANKS

FIELD: micro-electronics, in particular, method for making photo-template blanks. ^ SUBSTANCE: method includes preparation of masking layer of iron oxide in alkali oxidizing compound, containing hypochlorite, while maintaining their constant concentration, thus making it possible to execute surface...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: NIKITIN SERGEJ ALEKSEEVICH
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
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