METHOD FOR STEAM-PHASE AND CHEMICAL PLASMA STIMULATION OF GAS-SENSING FILM DEPOSITION

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KONDRASHEVSKIJ VIKTOR P, DONINA MARINA M, SAMOKHVALOV ROMAN V, GUSEV VALENTIN K
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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