PROCESS OF FORMATION OF CMOS STRUCTURES WITH POLYSILICON GATE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	PLASHCHINSKIJ GENNADIJ IOSIFOVICH, OBUKHOVICH VALERIJ AGATONOVICH, TUMANOV GENNADIJ MIKHAJLOVICH, MIKHAJLOV VALERIJ VLADIMIROVICH, SMIRNOV ALEKSANDR MIKHAJLOVICH
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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