METHOD OF PLASMA ETCHING OF THIN FILMS

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KHODACHENKO GEORGIJ V, GALPERIN VYACHESLAV A, SHELYKHMANOV EVGENIJ F, MOZGRIN DMITRIJ V, FETISOV IGOR K, NEVZOROV PETR I
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!