METHOD OF CHECKING UNIFORMITY OF DISTRIBUTION OF ELECTRIC POTENTIAL OF SEMICONDUCTOR MATERIAL SURFACE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	TYAVLOVSKIJ KONSTANTIN L,SU, NEMTSEV VIKTOR S,SU, ORLOVA TATYANA A,SU, POLYAKOVA NATALIYA G,SU, YARZHEMBITSKIJ VIKTOR B,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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