METHOD OF MANUFACTURING TARGETS FOR MAGNETRON ATOMIZATION

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: STEPANENKO ALEKSANDR V,SU, TATARINSKIJ VIKTOR M,SU, KHLEBTSEVICH VSEVOLOD A,SU, PILIPENKO VLADIMIR I,SU, LYUBIMOV VIKTOR I,SU, VARAVIN VLADIMIR A,SU
Format: Patent
Sprache:eng
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