PROCESS FOR PREPARING A PHOTODETECTOR BASED ON ARRAYS OF CORE-SHELL NANOWIRES OF COPPER OXIDE AND ZINC OXIDE TYPE PREPARED ON INTERDIGITATED METALLIC ELECTRODES

The invention relates to a process for preparing a photodetector based on an array of core-shell nanowires of copper oxide and zinc oxide type prepared on interdigitated metallic electrodes consisting of photolithography of interdigitated metallic electrodes of Ti/Pt on a sublayer of Si/SiO, electrodeposition of a Cu layer on the electrodes to obtain the arrays of core-shell nanowires of copper oxide and zinc oxide type by air-thermal oxidation of the Cu film and magnetron cathode sputtering, in radiofrequency, of a thin film of zinc oxide, the thin film being deposited at different times: 7 minutes, 15 minutes and 30 minutes, to obtain three different thicknesses for the film of zinc oxide, namely: 10 nm, 20 nm and 30 nm. Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unui fotodetector pe bază de matrice de nanofire miez-coajă, de tip oxid de cupru şi oxid de zinc, preparate pe electrozi metalici interdigitaţi, constând în fotolitografierea unor electrozi metalici interdigitaţi de Ti/Pt pe un substrat de Si/SiO, electrodepunerea unui strat de Cu pe electrozi, şi obţinerea matricelor de nanofire miez-coajă de tip oxid de cupru şi oxid de zinc prin oxidarea termică în aer a filmului de Cu, şi pulverizarea catodică cu magnetron, în radiofrecvenţă, a unui film subţire de oxid de zinc, depunerea filmului subţire de oxid de zinc făcându-se la timpi diferiţi: 7 min, 15 min şi 30 min, în vederea obţinerii a trei grosimi diferite pentru filmul de oxid de zinc, respectiv: 10 nm, 20 nm şi 30 nm.