PROCESS FOR PRODUCING CARBON NANOTUBES BY COLASER PROCESSING, FOR APPLICATIONS IN MICROELECTRONICS

The invention relates to a process for producing carbon nanotubes by a laser-induced chemical vapour deposition method. The deposition is carried out on a sublayer consisting of a silicon wafer, placed in the centre of a reaction chamber, some saw teeth-shaped electrodes and some catalysts particles being previously deposited onto the silicon wafer, the carbon nanotube growing process being carried out by introducing into the reaction chamber 30 sccm of CH, 180 sccm of NHand 1000 sccm of Ar, the gases having flow rates controlled by means of some electronic mass flow meters and being mixed, before being introduced into the reaction chamber, in a mixer made of stainless steel, the reaction products being evacuated through a mirrored system under the circumstances in which a laser beam is applied perpendicularly on the silicon wafer, the power of the laser being of 60 W, and the operation time being of 2 min. Invenţia se refră la un procedeu de obţinere de nanotuburi carbonice printr-o metodă de depunere chimică în stare de vapori, indusă cu laser. Depunerea se efectuează pe un substrat constând dintr-o plăcuţă de siliciu, amplasată în centrul unei camere de reacţie, pe plăcuţa de siliciu fiind depuşi în prealabil nişte electrozi în formă de dinţi de fierăstrău, şi nişte particule catalizatoare, procesul de creştere a nanotuburilor carbonice fiind realizat prin introducerea în camera de reacţie a 30 sccm de CH, 180 sccm de NHşi 1000 sccm de Ar, gazele având debite controlate cu ajutorul unor debitmetre masice, electronice, şi fiind amestecate, înainte de a fi introduse în camera de reacţie, într-un amestecător realizat din inox, produşii de reacţie fiind evacuaţi printr-un sistem în oglindă, în condiţiile în care, perpendicular pe plăcuţa de siliciu, este aplicat un fascicul laser, puterea laserului fiind de 60 W, iar timpul de lucru fiind de 2 min.