ALNICO-BASED MAGNETIC MATERIALS AS THIN LAYERS

The invention relates to AlNiCo-based magnetic materials as thin layers, with applications in the micro-electromechanical systems, such as magnetic field sensors, actuation sensors, actuation devices or the like. According to the invention, the materials are made of AlNiFeCoCuNbTiwhere x=5...12%, y=10...25%, z=15...79%, a=5...40%, b=1...5%, c=0...3%, d=0...10%, the layers being intended to be used in the temperature range of -80...110°C, having a saturation magnetic induction B=0.68...1.35 T, a coercive field H=25...160 kA/m, an energy product (BH)=10...60 kJ/m, using double-polished silicon and ceramic plates with surfaces of 0.5 cmand 1 cmas substrates, the deposition taking place under vacuum, at low pressure, ranging between 1x10...5.9x10mbar, the thickness of the deposited layers ranging between 30...300 nm. Invenţia se referă la materiale magnetice, sub formă de straturi subţiri, pe bază de AlNiCo, cu aplicaţii în sistemele microelectromecanice, cum sunt senzorii de câmp magnetic, senzorii de actuaţie, dispozitive de actuaţie sau altele asemenea. Materialele conform invenţiei sunt realizate din AlNiFeCoCuNbTi, unde x = 5...12%, y = 10...25%, z = 15...79%, a = 5...40%, b = 1...5%, c = 0...3%, d = 0...10%, straturile fiind folosite în domeniul de temperaturi cuprins între -80 şi 110°C, au o inducţie magnetică la saturaţie B= 0,68...1,35 T, câmpul coercitiv H= 25...160 kA/m, produsul energetic (BH)= 10...60 kJ/ m, iar ca substraturi, se folosesc plăcuţe cu suprafeţe de 0,5 cmşi 1 cm, din siliciu dublu polişat şi ceramică, depunerile având loc în vid, la presiuni joase, cuprinse între 1x10şi 5,9x10mbari, grosimea straturilor depuse fiind cuprinsă între 30 şi 300 nm.