HARD ANTIREFLEX LAYER MADE OF CARBON WITH DIAMOND-LIKE CARBON () BONDS OBTAINED BY THE THERMIONIC VACUUM ARC ()
The invention relates to a hard antireflex layer made of carbon with diamond-like carbon bonds, meant to apply the same onto the optical lenses made of germanium or silicon in order to minimize reflection of radiations and to increase the transmission in the infrared range ranging between 3-5 mium f...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; rum |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | The invention relates to a hard antireflex layer made of carbon with diamond-like carbon bonds, meant to apply the same onto the optical lenses made of germanium or silicon in order to minimize reflection of radiations and to increase the transmission in the infrared range ranging between 3-5 mium for Si and 8-12 mium for Ge, for hardening the surfaces thereof, improving fatigue and wear strength, and to a process for preparing the antireflex layer. According to the invention, the antireflex layer is obtained by using the method of thermionic vacuum arc and it consists of a carbon film of thicknesses ranging between 2-100 nm with bonds sp3, sp2, sp1, wherein the concentration of the sp3 bonds is higher than 60%, the refraction index ranges between 2.4-2.7, the light absorption coefficient is ranging between 0.13-0.19, and hardness is ranging between 40 plus/minus 5 GPa. According to the invention, the process consists in lighting a thermionic vacuum arc, between the anode and the cathode heated by a source of alternative current with values ranging between 0-150 A and 0-24 V, by applying a voltage ranging between 0-5000 V, the thermoelectrones emitted by the wolfram cathode bomb the graphite anode causing the evaporation thereof, the pure carbon vapours are ionized in a flux of plasma and are thus deposited onto the glass layer, forming the hard antireflex layer made of carbon without hydrogen content.
Invenţia se referă la un strat antireflex dur, din carbon cu legături tip diamantifer, destinat aplicării acestuia pe lentile optice din germaniu sau siliciu, pentru minimizarea reflexiei radiaţiilor şi mărirea transmisiei în domeniul infraroşu cuprins între 3 - 5 mium pentru Si şi 8 - 12 mium pentru Ge, pentru durificarea suprafeţelor acestora, îmbunătăţirea rezistenţei la oboseală şi uzură, şila un procedeu de preparare a stratului antireflex. Stratul antireflex, conform invenţiei, este obţinut prin metoda arcului termoionic în vid şi este format dintr-un film de carbon de grosimi cuprinse între 2 - 100 nm cu legături sp3, sp2, sp1, în care concentraţia legăturilor sp3 este mai mare de 60%, indicele de refracţie este cuprins în domeniul de valori 2.4 - 2.7, coeficientul de absorbţie a luminii este cuprins între 0,13 - 0,19, iar duritatea este cuprinsă între 40 plus/minus 5 GPa. Procedeul conform invenţiei constă în aprinderea unui arc termoionic în vid, între anod şi catodul încălzit cu o sursă de curent alternativ cu valori cuprinse între 0 - 150 A şi 0 - |
---|