PROCESSO, REATOR E SISTEMA PARA A CUSTOMIZAÇÃO DE NANOESTRUTURAS AUTÓNOMAS UTILIZANDO PLASMA DE MICRO-ONDAS

A INVENÇÃO REFERE-SE A UM PROCESSO, REATOR E SISTEMA PARA A CUSTOMIZAÇÃO DE NANOESTRUTURAS AUTÓNOMAS, UTILIZANDO UM AMBIENTE DE PLASMA EXCITADO POR MICRO-ONDAS SUSTENTADAS POR ONDA DE SUPERFÍCIE (OS). DOIS ESCOAMENTOS DISTINTOS SÃO INJETADOS EM DUAS ZONAS DISTINTAS DE UM REATOR DE PLASMA, SENDO O PR...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LUÍS PAULO MOTA CAPITÃO LEMOS ALVES, JÚLIO PAULO DOS SANTOS DUARTE VIEIRA HENRIQUES, BRUNO MIGUEL SOARES GONÇALVES, ELENA STEFANOVA TATAROVA
Format: Patent
Sprache:por
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