Transporter of the flat elements in the production processes
Przedmiotem wynalazku jest transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych, zwłaszcza w procesie wytwarzania układów elektronicznych zarówno na płytkach krzemowych, jak i wszelkiego rodzaju metalizowanych laminatach. Transporter ma umieszczone w wannie (WA) co najmniej dwa moduły ciekłe (MC...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; pol |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | Przedmiotem wynalazku jest transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych, zwłaszcza w procesie wytwarzania układów elektronicznych zarówno na płytkach krzemowych, jak i wszelkiego rodzaju metalizowanych laminatach. Transporter ma umieszczone w wannie (WA) co najmniej dwa moduły ciekłe (MC), połączone przewodami poprzez pompę (PO) i filtr (FL) z wanną (WA), przy czym pomiędzy sąsiadującymi modułami ciekłymi (MC) osadzony jest moduł gazowy (MG), ponadto każdy moduł ciekły (MC) zamknięty jest od góry płytą transportującą (PT), wyposażoną w dysze procesowe (DP), natomiast moduł gazowy (MG) zamknięty jest od góry płytą transportującą (PT), wyposażoną w dysze powietrzne (DG) oraz w separatory transportu ciecz-gaz (ST), przy czym moduł gazowy (MG) i separatory transportu ciecz-gaz (ST) podłączone są do sprężarki modułu gazowego (SP), jednocześnie wzdłuż modułów (MC, MG), w prowadnicach, zamocowane są dysze sterujące (DS), podłączone do sprężarki układu sterowania (SS). |
---|