Method for graphene preparation

Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania grafenu poprzez jego epitaksję z fazy gazowej na podłożu posiadającym powierzchnię z SiC, charakteryzujący się tym, że proces sublimacji krzemu z podłoża kontroluje się za pomocą przepływu gazu, obojętnego (10) przez reaktor epitaksjalny. Wynalazek obejm...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: STRUPI SKI W ODZIMIERZ
Format: Patent
Sprache:eng ; pol
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania grafenu poprzez jego epitaksję z fazy gazowej na podłożu posiadającym powierzchnię z SiC, charakteryzujący się tym, że proces sublimacji krzemu z podłoża kontroluje się za pomocą przepływu gazu, obojętnego (10) przez reaktor epitaksjalny. Wynalazek obejmuje także grafen otrzymany tym sposobem. The present invention relates to a method for manufacturing graphene by vapour phase epitaxy on a substrate comprising a surface of SiC, characterized in that the process of sublimation of silicon from the substrate is controlled by a flow of an inert gas or a gas other than an inert gas through the epitaxial reactor. The invention also relates to graphene obtained by this method.