Method for graphene preparation
Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania grafenu poprzez jego epitaksję z fazy gazowej na podłożu posiadającym powierzchnię z SiC, charakteryzujący się tym, że proces sublimacji krzemu z podłoża kontroluje się za pomocą przepływu gazu, obojętnego (10) przez reaktor epitaksjalny. Wynalazek obejm...
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; pol |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania grafenu poprzez jego epitaksję z fazy gazowej na podłożu posiadającym powierzchnię z SiC, charakteryzujący się tym, że proces sublimacji krzemu z podłoża kontroluje się za pomocą przepływu gazu, obojętnego (10) przez reaktor epitaksjalny. Wynalazek obejmuje także grafen otrzymany tym sposobem.
The present invention relates to a method for manufacturing graphene by vapour phase epitaxy on a substrate comprising a surface of SiC, characterized in that the process of sublimation of silicon from the substrate is controlled by a flow of an inert gas or a gas other than an inert gas through the epitaxial reactor. The invention also relates to graphene obtained by this method. |
---|