Method of production of coatings from zinc nanowires

Przedmiotem zgłoszenia jest sposób wytwarzania powłok z nanodrutów cynkowych, przeznaczonych do zastosowania w urządzeniach elektronicznych, zwłaszcza w urządzeniach magazynujących energię, w podłożach absorbujących promieniowanie EM i cieplne, sensorach a także jako powłoki zarodkujące dla wytwarzania nanostruktur półprzewodnikowych opartych na cynku. W sposobie tym oczyszczone i osuszone podłoże krystaliczne bądź amorficzne, umieszcza się w komorze procesowej urządzenia do rozpylania magnetronowego pracującego w trybie stałoprądowym, na stoliku znajdującym się w odległości 3 - 100 cm od tarczy Zn. Następnie odpompowuje się komorę procesową i podgrzewa się stolik, do temperatury 75 - 250°C. Proces rozpylania prowadzi się w obecności argonu oraz tlenu, przy ciśnieniu mieszaniny gazów w zakresie 0,1 - 5 Pa oraz gęstości mocy podawanej na tarczę Zn co najmniej 0,4 W/cm2.