CLOSED CHEMICAL DEPOSIT SYSTEM (CCD) FOR THIN FILM PROCESSING

The present invention relates to an alternative system to the conventional CCD technique used to deposit semiconductor thin films on substrates with areas of 100 cm2. Mainly, it helps deposit semiconductor films of CdS or other materials used to process thin-film solar cells with a unique design for depositing CdS films on two substrates for each processing. Also, it introduces the precursor solutions into the deposition chamber, previously mixed in a solution container, remaining at a constant temperature during the entire process, controlled by a thermostatic bath with a resolution range of ±0.01 °C, maintaining the pressure therein by polypropylene hoses coupled to the deposition chamber, connected to needle valves. The structure of this equipment is straightforward and economical, allowing the processing of thin films with physical properties suitable for use in solar cells, reducing the waste produced by 80%, highly reducing damage to the environment, and the costs associated wit h chemical treatments given to the waste produced. La presente invención se refiere a un sistema alternativo la técnica DBQ convencional, el cual se puede utilizar para depositar películas delgadas semiconductoras sobre sustratos de áreas de 100 cm2, es particularmente útil para el depósito de películas semiconductoras de CdS u otros materiales utilizados para el procesamiento de celdas solares de película delgada. Posee un diseño único en el cual se pueden depositar películas de CdS en dos sustratos por cada procesamiento, las soluciones precursoras se introducen en el interior de la cámara de depósito, previamente mezclada en un contenedor de soluciones, durante todo el proceso la cámara de depósito permanece a temperatura constante, controlada por un baño termostático con un rango de resolución de ±0.01 °C. la presión en el interior de la cámara de depósito se controla mediante unas mangueras de polipropilenos acopladas a la cámara de depósito, las cuales traen conectadas unas válvulas de aguja por donde se controla la presión en el interior del sistema. La estructura de este equipo es muy simple y económica y se pueden procesar películas delgas con propiedades físicas adecuadas para ser utilizadas en celdas solares, disminuyendo en un 80% los desechos producidos, reduciendo en gran medida los daños al medio ambiente y los gastos aunados a los tratamientos químicos que se les da a los desechos producidos.