MULTI-VANE THROTTLE VALVE
A multi-vane throttling valve for a vacuum process chamber includes a reciprocal vane pivotally connected to and extending backwardly away from a back side of each of a plurality of rotatable vanes, and a stationary reciprocal vane angling assembly fixed in a predefined position and having an assemb...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; spa |
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Zusammenfassung: | A multi-vane throttling valve for a vacuum process chamber includes a reciprocal vane pivotally connected to and extending backwardly away from a back side of each of a plurality of rotatable vanes, and a stationary reciprocal vane angling assembly fixed in a predefined position and having an assembly pin extending transversely toward the reciprocal vane a predefined distance sufficient to support the reciprocal vane whereby the stationary angling assembly causes the reciprocal vane to pivot in a range between a substantially parallel position with the respective rotatable vane and a transverse position with the respective rotatable vane when the respective rotatable vane is rotated.
Una válvula reguladora de aspas múltiples para una cámara de proceso de vacío que incluye un aspa recíproca que está conectada de manera pivotante a y que se extiende hacia atrás a partir de un lado posterior de cada una de las pluralidades de las aspas rotatorias, y un aspa estacionaria recíproca con un anclaje fijo en una posición predefinida y que tiene un pasador de montaje que se extiende transversalmente hacia el aspa recíproca a una distancia predefinida suficiente para soportar el aspa recíproca por lo que el anclaje fijo estacionario causa que el aspa recíproca pivote en un rango entre una posición substancialmente paralela con el aspa rotatoria respectiva y una posición transversal con el aspa rotatoria respectiva cuando el aspa rotatoria respectiva es rotada. |
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