FLUID PRESSURE SENSOR AND MEASUREMENT PROBE

This invention concerns a fluid pressure measurement sensor (11) comprising a microelectromechanical system (MEMS) chip (23). The MEMS chip (23) comprises two lateral walls (56), a sensitive membrane (49) connected to said lateral walls (56) and sealed cavity (9). The exterior surfaces of the lateral walls (56) and the sensitive membrane (49) are exposed to the fluid pressure. The lateral walls (56) are designed to subject the sensitive membrane (49) to a compression stress transmitted by the opposite lateral walls (56) where said lateral walls (56) are connected to the sensitive membrane (49) such that the sensitive membrane (49) works in compression only. The MEMS chip (23) also comprises a stress detection circuit (31) to measure the compression state of the sensitive membrane (49) which is proportional to the fluid pressure. La presente invención se refiere a un sensor de medición de la presión de fluido (11) que comprende un chip de sistema microelectromecánico (MEMS) (23). El chip de MEMS (23) comprende dos paredes laterales (56), una membrana sensible (49) conectada a tales paredes laterales (56) y cavidad sellada (9). Las superficies exteriores de las paredes laterales (56) y la membrana sensitiva (49) están expuestas a la presión de fluido. Las paredes laterales (56) están diseñadas para someter la membrana sensitiva (49) a un estrés de compresión transmitido por las paredes laterales opuestas (56) donde tales paredes laterales (56) están conectadas a la membrana sensitiva (49) de manera que la membrana sensitiva (49) funciona en compresión solamente. El chip de MEMS (23) también comprende un circuito de detección de estrés (31) para medir el estado de compresión de la membrana sensitiva (49) el cual es proporcional a la presión del fluido.