IN-SITU PLASMA/LASER HYBRID SCHEME

A method and apparatus for forming layers on a target. The apparatus and method employ a direct current plasma apparatus to form at least one layer using a plasma jet containing precursors. In some embodiments, the direct current plasma apparatus utilizes axial injection of the precursors through the cathode (in an upstream and/or downstream configuration) and/or downstream of the anode. In some embodiments, the direct current plasma apparatus can comprise a laser source for remelting the layer using a laser beam to achieve insitu densification thereof. Un método y aparato para formar capas en un objetivo. El aparato y método emplean un aparato de plasma de corriente directa para formar al menos una capa usando un chorro de plasma que contienen precursores. En algunas modalidades, el aparato de plasma de corriente directa utiliza inyección axial de los precursores a través del cátodo (en una configuración corriente arriba y/o corriente abajo) y/o corriente abajo del ánodo. En algunas modalidades, el aparato de plasma de corriente directa puede comprender una fuente de láser para volver a fundir la capa, usando un haz láser para lograr su densificación in situ.