FLUIDIZED BED REACTOR FOR PRODUCTION OF HIGH PURITY SILICON

Methods and apparatus for the production of high purity silicon including a fluidized bed reactor with one or more protective layers deposited on an inside surface of the fluidized bed reactor. The protective layer may be resistant to corrosion by fluidizing gases and silicon-bearing gases. Se descr...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: PEDRO-TOMAS LUJAN GARCIA, JAVIER SAN SEGUNDO SANCHEZ, MANUEL VICENTE VALES CANLE, JOSE LUIS MONTESINOS BARONA, MARIA TOMAS MARTINEZ, EVARISTO AYUSO CONEJERO, XAVIER BENAVIDES REL
Format: Patent
Sprache:eng ; spa
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Beschreibung
Zusammenfassung:Methods and apparatus for the production of high purity silicon including a fluidized bed reactor with one or more protective layers deposited on an inside surface of the fluidized bed reactor. The protective layer may be resistant to corrosion by fluidizing gases and silicon-bearing gases. Se describen los métodos y aparatos para la producción de silicio de alta pureza incluyendo un reactor de lecho fluidizado con una o más capas protectoras depositadas sobre una superficie interna del reactor de lecho fluidizado. La capa protectora puede ser resistente a la corrosión por los gases de fluidización y los gases que llevan silicio.