FLUIDIZED BED REACTOR FOR PRODUCTION OF HIGH PURITY SILICON
Methods and apparatus for the production of high purity silicon including a fluidized bed reactor with one or more protective layers deposited on an inside surface of the fluidized bed reactor. The protective layer may be resistant to corrosion by fluidizing gases and silicon-bearing gases. Se descr...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; spa |
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Zusammenfassung: | Methods and apparatus for the production of high purity silicon including a fluidized bed reactor with one or more protective layers deposited on an inside surface of the fluidized bed reactor. The protective layer may be resistant to corrosion by fluidizing gases and silicon-bearing gases.
Se describen los métodos y aparatos para la producción de silicio de alta pureza incluyendo un reactor de lecho fluidizado con una o más capas protectoras depositadas sobre una superficie interna del reactor de lecho fluidizado. La capa protectora puede ser resistente a la corrosión por los gases de fluidización y los gases que llevan silicio. |
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