HIGH DENSITY REFRACTORY METALS & ALLOYS SPUTTERING TARGETS

The present invention is directed to a process for producing high density, refractory metal products via a press/sintering process. The invention is also directed to a process for producing a sputtering target and to the sputtering target so produced. La presente invención se refiere a un proceso pa...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GLEN ZEMAN, PRABHAT KUMAR, CHARLES B. WOOD, STEVEN A. MILLER, RONGIN RICHARD WU, GARY ROZAK
Format:	Patent
Sprache:	eng ; spa
Schlagworte:	CASTING MAKING METALLIC POWDER MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER PERFORMING OPERATIONS POWDER METALLURGY TRANSPORTING WORKING METALLIC POWDER
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The present invention is directed to a process for producing high density, refractory metal products via a press/sintering process. The invention is also directed to a process for producing a sputtering target and to the sputtering target so produced. La presente invención se refiere a un proceso para producir productos de metales refractarios de alta densidad, vía un proceso de presión/sinterización. La invención también se dirige a un proceso para producir un blanco por pulverización catódica y al blanco de pulverización catódica así producido.