Real-time consumption monitoring point-type evaporation source device and deposition equipment having the same

실시간 소모량 모니터링 점 증발원 장치 및 이를 포함하는 증착장비가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 실시간 소모량 모니터링 점 증발원 장치 및 이를 포함하는 증착장비는 증착물질이 담긴 원통 형태의 도가니 본체; 상기 도가니 본체 상단에 결합되며 상기 증착물질로부터 생성되는 증발입자를 외부로 토출되고, 둘레 외측으로 돌출된 플랜지가 형성된 분사캡; 상기 도가니 본체의 둘레에 설치되어 상기 도가니 본체에 열을 가하는 히터; 상기 도가니 본체의 둘레 외주면 및 하측면을 감싸도록 형성되며, 상기 상기 히터에서 발출되는 열을 상기 도가...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	MIN KYOUNG HO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	실시간 소모량 모니터링 점 증발원 장치 및 이를 포함하는 증착장비가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 실시간 소모량 모니터링 점 증발원 장치 및 이를 포함하는 증착장비는 증착물질이 담긴 원통 형태의 도가니 본체; 상기 도가니 본체 상단에 결합되며 상기 증착물질로부터 생성되는 증발입자를 외부로 토출되고, 둘레 외측으로 돌출된 플랜지가 형성된 분사캡; 상기 도가니 본체의 둘레에 설치되어 상기 도가니 본체에 열을 가하는 히터; 상기 도가니 본체의 둘레 외주면 및 하측면을 감싸도록 형성되며, 상기 상기 히터에서 발출되는 열을 상기 도가니 본체 측으로 반사시키며, 상기 분사캡의 플랜지가 지지되는 히터 하우징; 내주면이 히터 하우징의 외주면 및 하측면과 이격되어 히터 하우징을 감싸도록 설치되는 쿨링재킷; 상기 히터 하우징의 하측면과 상기 쿨링재킷의 하측면 사이에 구비되어 상기 도가니 본체의 무게 변화를 실시간으로 측정하는 무게감지모듈;을 포함할 수 있다.