가스 스틱 누출들에 대한 누출 검출

가스 스틱 조립체에서의 가스 누출을 모니터링 및 검출하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 방법은, 상이한 시점들에서 가스 스틱 조립체의 질량 유동 제어기에서의 압력을 측정하는 단계, 및 상이한 시점들에서 차이 임계치를 초과하는 압력 차이가 존재하는지 여부를 결정하는 단계를 포함한다. A method and system for monitoring and detecting a gas leak in a gas stick assembly is provided. The method includes measuring a pressure in...

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Hauptverfasser:	XU MING, OKADA ASHLEY, LE KENNETH, WANG YEN KUN, TOM ALEX J
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	가스 스틱 조립체에서의 가스 누출을 모니터링 및 검출하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 방법은, 상이한 시점들에서 가스 스틱 조립체의 질량 유동 제어기에서의 압력을 측정하는 단계, 및 상이한 시점들에서 차이 임계치를 초과하는 압력 차이가 존재하는지 여부를 결정하는 단계를 포함한다. A method and system for monitoring and detecting a gas leak in a gas stick assembly is provided. The method includes measuring a pressure in a mass flow controller of the gas stick assembly at different time points and determining whether there is a difference in pressure at the different time points that exceeds a difference threshold.