레지스트 조성물, 레지스트 패턴 형성 방법, 화합물, 및, 산 발생제
기재 성분 (A) 와, 일반식 (b0) 으로 나타내는 화합물 (B0) 을 포함하는, 레지스트 조성물. TIFFpct00154.tif30128 식 중, Rpg 는, 산 분해성기이다. Rl0 은, 치환기를 가져도 되는 고리형의 유기기이다. L02 는, 2 가의 연결기이다. L01 은, 2 가의 연결기 또는 단결합이다. Rm1 은, 요오드 원자 이외의 치환기이다. Vb0 은, 단결합 등이다. R0 은, 수소 원자 등이다. nb1 은 1 ∼ 4 의 정수이고, nb2 는 1 ∼ 4 의 정수이고, nb3 은, 0 ∼ 3 의 정수이다. Mm+...
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