Manufacturing Method Film-Forming Apparatus and Film-Forming Method

전자 디바이스를 제조하는 제조방법으로서, 기판의 제1면에 막을 형성하는 제1 공정과, 상기 제1 공정 이후에 상기 막을 봉지하는 제2 공정과, 상기 제1 공정 이후에, 또한, 상기 제2 공정 이전에, 상기 제1 공정에서 상기 막이 형성된 기판을, 상기 기판의 상기 제1면이 중력의 방향을 향하도록, 제1 정전척으로 보유지지한 상태에서, 상기 막의 두께를 계측하는 제3 공정을 포함하고, 상기 제1 정전척은, 상기 기판을, 상기 기판의 상기 제1면과는 반대측의 제2면에서 보유지지하는 제1 보유지지면을 포함하고, 상기 제1 보유지지면은, 중력의 방향 측으로, 볼록ㅎ형상이 되는 표면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 제조방법을 제공한다.