모듈식 다방향 가스 혼합 블록

예시적인 모듈식 가스 블록들은 유입 및 배출 단부들을 갖는 본체를 포함할 수 있다. 본체는 본체의 길이를 따라 제1 가스 경로의 일부를 정의할 수 있고, 본체의 폭을 따라 제2 가스 경로를 정의할 수 있다. 제1 가스 경로는 본체 내에 정의된 채널 세그먼트들을 포함할 수 있다. 유입 단부는 제1 가스 경로와 결합되는 가스 유입부를 정의할 수 있다. 본체는 제1 가스 경로와 결합되는 제1 유체 포트들을 정의할 수 있다. 제1 유체 포트들 중의 유체 포트는 가스 유입부와 결합될 수 있다. 제1 유체 포트들은 각자의 채널 세그먼트를 통해 서로 결합될 수 있다. 상측 표면은 폭을 따라 제1 유체 포트로부터 이격되고 제2 가스 경로를 통해 제1 유체 포트와 결합되는 측방향 유체 포트를 정의할 수 있다. Exemplary modular gas blocks may include a body having inlet and outlet ends. The body may define a portion of a first gas path along a length of the body and may define a second gas path along a width of the body. The first gas path may include channel segments defined within the body. The inlet end may define a gas inlet that is coupled with the first gas path. The body may define first fluid ports that are coupled with the first gas path. A fluid port of the first fluid ports may be coupled with the gas inlet. The first fluid ports may be coupled with one another via a respective channel segment. An upper surface may define a lateral fluid port that is spaced apart from a first fluid port along the width and is coupled with the first fluid port via the second gas path.