PLASMA CLEANINI SYSTEM
본 발명은 플라즈마 클리닝 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로 클리닝 가스를 플라즈마 상태로 변환처리함에 따라 분리되는 불소이온을 진공챔버로 효율적으로 공급시킬 수 있는 플라즈마 클리닝 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 플라즈마 클리닝 시스템은 클리닝 가스를 투입받아 수용부에 수용하도록 형성된 리액터, 상기 수용부로부터 연장된 연결관을 통해 연결되도록 일측에 형성된 공급홀과 오염물질을 배출하기 위하여 타측에 형성된 배출홀을 구비한 진공챔버, 상기 클리닝 가스를 플라즈마 상태로 변환 처리하도록 상기 리액터에 고출력 전원을 인가하...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은 플라즈마 클리닝 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로 클리닝 가스를 플라즈마 상태로 변환처리함에 따라 분리되는 불소이온을 진공챔버로 효율적으로 공급시킬 수 있는 플라즈마 클리닝 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 플라즈마 클리닝 시스템은 클리닝 가스를 투입받아 수용부에 수용하도록 형성된 리액터, 상기 수용부로부터 연장된 연결관을 통해 연결되도록 일측에 형성된 공급홀과 오염물질을 배출하기 위하여 타측에 형성된 배출홀을 구비한 진공챔버, 상기 클리닝 가스를 플라즈마 상태로 변환 처리하도록 상기 리액터에 고출력 전원을 인가하는 플라즈마 생성기를 포함하고, 상기 플라즈마 생성기는 상기 수용부에 수용된 상기 클리닝 가스의 플라즈마 상태에 따라 개폐되는 공급밸브를 이용하여, 상기 클리닝 가스로부터 분리된 불소이온을 상기 연결관을 통해 상기 진공챔버로 공급시킨다. |
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