F-세타 대물렌즈 및 이를 장착한 스캐너 장치

본 발명은 정확히 3개의 렌즈(L1, L2, L3), 즉 양의 굴절력을 갖는 양면볼록 렌즈로 설계되고 제1 초점 길이(f1)를 갖는 제1 렌즈(L1), 음의 굴절력을 갖는 양면오목 렌즈로 설계되고 제2 초점 길이(f2)를 갖는 제2 렌즈(L2), 및 양의 굴절력을 갖는 메니스커스 렌즈로 설계되고 제3 초점 길이(f3)를 갖는 제3 렌즈(L3)가 있는 f-세타 대물렌즈(2)에 관한 것으로서, 제1, 제2, 및 제3 렌즈(L1, L2, L3)는 빔 경로에서 차례로 배치되어 렌즈 조립체(11)를 형성한다. 본 발명은 또한 굴절률이 2.0...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MARTE TOBIAS, FLAIG TIMO, HELLSTERN JULIAN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS
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