F-세타 대물렌즈 및 이를 장착한 스캐너 장치

본 발명은 정확히 3개의 렌즈(L1, L2, L3), 즉 양의 굴절력을 갖는 양면볼록 렌즈로 설계되고 제1 초점 길이(f1)를 갖는 제1 렌즈(L1), 음의 굴절력을 갖는 양면오목 렌즈로 설계되고 제2 초점 길이(f2)를 갖는 제2 렌즈(L2), 및 양의 굴절력을 갖는 메니스커스 렌즈로 설계되고 제3 초점 길이(f3)를 갖는 제3 렌즈(L3)가 있는 f-세타 대물렌즈(2)에 관한 것으로서, 제1, 제2, 및 제3 렌즈(L1, L2, L3)는 빔 경로에서 차례로 배치되어 렌즈 조립체(11)를 형성한다. 본 발명은 또한 굴절률이 2.0 미만인 재료로 만들어진 정확히 4개의 렌즈(L1, L2, L3, L4), 즉 양의 굴절력을 갖는 양면볼록 렌즈 또는 메니스커스 렌즈로 설계되고 제1 초점 길이(f1)를 갖는 제1 렌즈(L1), 음의 굴절력을 갖는 양면오목 렌즈로 설계되고 제2 초점 길이(f2)를 갖는 제2 렌즈(L2), 양의 굴절력을 갖는 평면 볼록 렌즈 또는 메니스커스 렌즈로 설계되고 제3 초점 길이(f3)를 갖는 제3 렌즈(L3), 및 양의 굴절력을 갖고 제4 초점 길이(f4)를 갖는 제4 렌즈(L4)가 있는 f-세타 대물렌즈(2)에 관한 것으로서, 제1, 제2, 및 제3 렌즈(L1, L2, L3)는 빔 경로에서 차례로 배치되어 렌즈 조립체(11)를 형성하고, 제4 렌즈(L4)는 빔 경로에서 렌즈 조립체(11)의 상류 또는 렌즈 조립체(11)의 하류에 배치된다. 본 발명은 또한 이러한 f-세타 대물렌즈(2)를 포함하는 레이저 스캐너 장치에 관한 것이다. An F-theta objective has precisely three lenses. The three lenses being: a first lens with a first focal length, which is designed as a biconvex lens with a positive refractive power, a second lens with a second focal length, which is designed as a biconcave lens with a negative refractive power, and a third lens with a third focal length, which is designed as a meniscus lens with a positive refractive power. The first lens, the second lens, and the third lens are arranged one behind the other in a beam path and form a lens assembly.