SEMICONDUCTOR DEVICES AND DATA STORAGE SYSTEMS INCLUDING THE SAME

본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치는, 플레이트층, 상기 플레이트층 상에서 상기 플레이트층의 상면에 수직한 제1 방향을 따라 교대로 적층되며, 제1 적층 구조물 및 상기 제1 적층 구조물 상의 제2 적층 구조물을 이루는 게이트 전극들 및 층간 절연층들, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 채널 구조물, 및 상기 게이트 전극들을 관통하여 상기 제1 방향을 따라 연장되며, 상기 게이트 전극들 중 하나와 전기적으로 연결되는 콘택 플러그를 포함하고, 상기 제2 적층 구조물은, 최하부에 배치되는 제1 게이트 전극, 상기 제1 게이트 전극 상의...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KIM SEUNG YOON, CHUNG MIN KYU, HAN JEE HOON, LEE HYE MI, KIM HEE SUK, LEE JAE HUN, LIM JU YOUNG, CHUN SANG HUN, LEE SANG JAE
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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