FMM REPAIR SYSTEM AND METHOD FOR FINE-METAL-MASK

본 발명에 의한 FMM 리페어 시스템은 관통홀 및 상기 관통홀보다 크기가 큰 공대 관통홀이 형성된 불량 FMM시트, 상기 불량 FMM시트와 동종재질로 형성되고, 상기 공대 관통홀을 커버하도록 상기 불량 FMM시트의 상부에 적층되는 리페어 시트, 상기 리페어 시트의 적어도 일부가 상기 공대 관통홀을 채워 리페어층을 형성하도록 제1레이저빔을 조사하는 제1레이저 및 상기 리페어층에 상기 관통홀과 동일한 크기의 리페어홀을 형성하도록 제2레이저빔을 조사하는 제2레이저를 포함한다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	NAM GI JUNG, RYU JUN KYU, LEE JIN KWAN, LEE SUN WOO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS THEREFOR CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRICITY ELECTROFORMING ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL MACHINE TOOLS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR METALLURGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS SOLDERING OR UNSOLDERING SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명에 의한 FMM 리페어 시스템은 관통홀 및 상기 관통홀보다 크기가 큰 공대 관통홀이 형성된 불량 FMM시트, 상기 불량 FMM시트와 동종재질로 형성되고, 상기 공대 관통홀을 커버하도록 상기 불량 FMM시트의 상부에 적층되는 리페어 시트, 상기 리페어 시트의 적어도 일부가 상기 공대 관통홀을 채워 리페어층을 형성하도록 제1레이저빔을 조사하는 제1레이저 및 상기 리페어층에 상기 관통홀과 동일한 크기의 리페어홀을 형성하도록 제2레이저빔을 조사하는 제2레이저를 포함한다.