PMNT 표적 재료 및 그 제조 방법

본 출원은 PMNT 표적 재료의 제조 방법을 제공하고, MNT 전구체를 획득하는 단계; MNT 전구체를 PbO와 혼합하고 고온 처리하여, PMNT 파우더를 획득하는 단계; 상기 PMNT 파우더에 대해 볼밀링을 수행, 펠렛팅, 체질, 냉간 등방압 성형, 콜로이드 배출 및 열간 프레싱 소결을 수행하는 단계를 포함한다. 본 출원에서 제공한 제조 방법은 미세 구조가 균일하고, 치밀도가 높으며, 순도가 높은 PMNT 표적 재료를 얻을 수 있고, 특히 큰 사이즈 고품질의 PMNT 표적 재료를 획득할 수 있음으로써, PMNT 박막 제품의 수율을...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LI HUI, TONG YAQI, ZHENG YU, WANG ZHEN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ARTIFICIAL STONE CEMENTS CERAMICS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS CONCRETE DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL LIME, MAGNESIA METALLURGY PERFORMING OPERATIONS REFRACTORIES SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG, OR MIXTURESCONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER SLAG SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING TREATMENT OF NATURAL STONE WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 출원은 PMNT 표적 재료의 제조 방법을 제공하고, MNT 전구체를 획득하는 단계; MNT 전구체를 PbO와 혼합하고 고온 처리하여, PMNT 파우더를 획득하는 단계; 상기 PMNT 파우더에 대해 볼밀링을 수행, 펠렛팅, 체질, 냉간 등방압 성형, 콜로이드 배출 및 열간 프레싱 소결을 수행하는 단계를 포함한다. 본 출원에서 제공한 제조 방법은 미세 구조가 균일하고, 치밀도가 높으며, 순도가 높은 PMNT 표적 재료를 얻을 수 있고, 특히 큰 사이즈 고품질의 PMNT 표적 재료를 획득할 수 있음으로써, PMNT 박막 제품의 수율을 향상시키고, 원가를 감소시킨다. Provided is a preparation method for a PMNT target material, comprising: obtaining an MNT precursor; mixing the MNT precursor with PbO, and treating same at a high temperature to obtain PMNT powder; carrying out ball milling, granulation, sieving, cold isostatic pressing, binder discharging, and hot-pressing sintering treatment on the PMNT powder to obtain a PMNT target material. By means of the provided preparation method, a PMNT target material having uniform microstructure, high density and high purity can be obtained, and particularly, a large-sized high-quality PMNT target material can be obtained, thereby improving the yield of PMNT thin film products and reducing costs.