SUBSTRATE CONVEYING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE COMPRISING SUBSTRATE CONVEYING DEVICE

사각형의 기판에 액체 및/또는 기체를 내뿜는 공정을 통해 기판을 반송할 때, 기판의 손상을 억제하는 데 있다. 사각형의 기판을 반송하기 위한 기판 반송 장치이며, 기판의 하면을 지지하도록 구성되는 복수의 제1 반송 롤러와, 복수의 제1 롤러 샤프트이며, 적어도 3개의 제1 반송 롤러가 각 제1 롤러 샤프트에 설치되는, 복수의 제1 롤러 샤프트와, 상기 제1 롤러 샤프트를 회전시키기 위한 모터와, 상기 기판의 폭 방향의 중앙부에서만 상기 기판의 상면을 지지하도록 구성되는 복수의 제2 반송 롤러와, 상기 기판의 폭 방향의 중앙부만을 지지하도록 구성되는 1개의 제2 반송 롤러가 각 제2 롤러 샤프트에 설치되는, 복수의 제2 롤러 샤프트와, 상기 기판의 양측면에 대향하여 상기 기판의 반송을 안내하는 복수의 가이드 롤러를 구비하는, 기판 반송 장치. One object is to suppress a substrate in a rectangular shape from being damaged when the substrate is transferred through a process of spraying a liquid and/or a gas to the substrate. There is provided a substrate transfer apparatus configured to transfer a substrate in a rectangular shape. The substrate transfer apparatus comprises a plurality of first transfer rollers configured to support a lower face of the substrate; a plurality of first roller shafts, wherein at least three first transfer rollers are mounted to each of the first roller shafts; a motor configured to rotate the first roller shafts; a plurality of second transfer rollers configured to support an upper face of the substrate at only a center portion of the substrate in a width direction; a plurality of second roller shafts, wherein one second transfer roller configured to support only the center portion of the substrate in the width direction is mounted to each of the second roller shafts; and a plurality of guide rollers opposed to respective side faces of the substrate and configured to guide transfer of the substrate.