Substrate Supporting Device of Cassette for Substrate Processing Apparatus and Cassette for Substrate Processing Apparatus
본 발명은 기둥부에 결합되거나 기둥부에서 연장되는 돌출부를 포함하는 기판처리장치용 카세트에서 기판에 접촉되는 것으로, 상기 돌출부의 삽입홈에 삽입되는 삽입부; 및 상기 삽입부로부터 상측으로 돌출되어서 기판과 접촉되는 접촉부를 포함하고, 상기 삽입부는 측면에 결합돌기를 포함하여 상기 결합돌기의 형상을 수용하는 상기 삽입홈에 삽입되는 기판처리장치용 카세트의 기판지지장치, 및 기판처리장치용 카세트에 관한 것이다....
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!