Substrate Supporting Device of Cassette for Substrate Processing Apparatus and Cassette for Substrate Processing Apparatus

본 발명은 기둥부에 결합되거나 기둥부에서 연장되는 돌출부를 포함하는 기판처리장치용 카세트에서 기판에 접촉되는 것으로, 상기 돌출부의 삽입홈에 삽입되는 삽입부; 및 상기 삽입부로부터 상측으로 돌출되어서 기판과 접촉되는 접촉부를 포함하고, 상기 삽입부는 측면에 결합돌기를 포함하여 상기 결합돌기의 형상을 수용하는 상기 삽입홈에 삽입되는 기판처리장치용 카세트의 기판지지장치, 및 기판처리장치용 카세트에 관한 것이다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HER HO BOEM, HWANG CHUL JOO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 기둥부에 결합되거나 기둥부에서 연장되는 돌출부를 포함하는 기판처리장치용 카세트에서 기판에 접촉되는 것으로, 상기 돌출부의 삽입홈에 삽입되는 삽입부; 및 상기 삽입부로부터 상측으로 돌출되어서 기판과 접촉되는 접촉부를 포함하고, 상기 삽입부는 측면에 결합돌기를 포함하여 상기 결합돌기의 형상을 수용하는 상기 삽입홈에 삽입되는 기판처리장치용 카세트의 기판지지장치, 및 기판처리장치용 카세트에 관한 것이다.