제조 장비를 위한 진단 툴 대 툴 매칭 방법들

방법은 제조 챔버의 제1 제조 프로세스와 연관된 트레이스 센서 데이터를 수신하는 단계를 포함한다. 방법은, 트레이스 센서 데이터와 연관된 요약 데이터를 생성하기 위해 처리 디바이스에 의해 트레이스 센서 데이터를 처리하는 단계를 더 포함한다. 방법은 요약 데이터에 기초하여 품질 인덱스 점수를 생성하는 단계를 더 포함한다. 방법은 품질 인덱스 점수에 기초하여 사용자에게 경고를 제공하는 단계를 더 포함한다. 경고는 제조 챔버 성능이 제1 임계치를 충족시키지 않는다는 표시를 포함한다. A method includes receiving trace sensor data associated with a first manufacturing process of a manufacturing chamber. The method further includes processing the trace sensor data by a processing device to generate summary data associated with the trace sensor data. Generating the summary data includes identifying a steady state and transient portion of the trace sensor data and generating a first and second portion of summary data based on the steady state and transient portions. The method further includes generating a quality index score based on the summary data. The method further includes providing an alert to a user based on the quality index score. The alert includes an indication that the manufacturing chamber performance does not meet a first threshold.