검사 장치, 동력식 애퍼처, 및 방법

시스템은 이미징 시스템, 공간 필터 및 검출기를 포함한다. 이미징 시스템은 복수의 회절 차수를 받아들이도록 구성된다. 공간 필터는 복수의 회절 차수 중 하나 이상의 원치 않는 회절 차수를 차단하도록 그리고 복수의 회절 차수 중 하나 이상의 원하는 회절 차수를 통과시키도록 구성된다. 공간 필터는 방위각적으로 달라지는 각도 의존적 반경을 갖는 하나 이상의 차광부를 포함한다. 검출기는 하나 이상의 원하는 회절 차수를 받아들이고 세기를 측정하도록 구성된다. 공간 필터는 동력식이다. A system includes an imaging system, a spatial filter, and a detector. The system is configured to receive a plurality of diffraction orders. The spatial filter is configured to block one or more undesired diffraction orders of the plurality of diffraction orders and to pass one or more desired diffraction orders of the plurality of diffraction orders. The spatial filter includes one or more obscurations having an angular dependent radius that varies azimuthally. The detector is configured to receive and measure an intensity of the one or more desired diffraction orders. The spatial filter is motorized.