Apparatus and method for manufacturing a display device and mask assembly

본 발명의 일 실시예는, 챔버, 표시기판과 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되는 마스크 조립체, 상기 마스크 조립체에 자기력을 가하도록 상기 챔버 내부에 배치되는 자기력부, 및 상기 마스크 조립체와 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질이 상기 마스크 조립체를 통과하여 상기 표시기판 상에 증착되도록 상기 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 제1마스크 개구가 배치되는 제1마스크층, 및 상기 제1마스크층 상에 배치되는 제2마스크층을 포함하고, 상기 제2마스크층은, 상기 제1마스크 개구와 중첩하는 금속...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	IM SUNG SOON, KIM JEONG KUK, CHO WON JE
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 일 실시예는, 챔버, 표시기판과 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되는 마스크 조립체, 상기 마스크 조립체에 자기력을 가하도록 상기 챔버 내부에 배치되는 자기력부, 및 상기 마스크 조립체와 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질이 상기 마스크 조립체를 통과하여 상기 표시기판 상에 증착되도록 상기 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 제1마스크 개구가 배치되는 제1마스크층, 및 상기 제1마스크층 상에 배치되는 제2마스크층을 포함하고, 상기 제2마스크층은, 상기 제1마스크 개구와 중첩하는 금속 개구가 배치되는 금속층, 및 상기 제1마스크 개구 및 상기 금속 개구와 중첩하는 무기 개구가 배치되는 무기층을 포함하고, 단면 상에서, 상기 금속 개구의 폭은 상기 무기 개구의 폭보다 큰, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.