IMAGE SENSOR

본 개시의 실시 예에 따른 이미지 센서는 제1 픽셀과 제2 픽셀을 포함하는 기판, 깊은 소자분리패턴, 및 오픈 영역을 포함하고, 제1 및 제2 픽셀들 각각은 제1 광전 변환 소자를 포함하는 제1 픽셀 영역, 및 제2 광전 변환 소자를 포함하고, 제1 픽셀 영역과 제1 방향으로 배치되는 제2 픽셀 영역을 포함하고, 깊은 소자분리패턴은 제1 픽셀 영역 및 제2 픽셀 영역 사이에 배치되는 제1 부분, 제1 픽셀의 제1 픽셀 영역 및 제2 픽셀의 제1 픽셀 영역 사이에 배치되는 제2 부분, 제1 픽셀의 제2 픽셀 영역 및 제2 픽셀의 제2...

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Hauptverfasser: CHUNG HAE YEON, PARK SANG CHUN, YOU SUNG YONG, CHOI SUNG SOO
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 개시의 실시 예에 따른 이미지 센서는 제1 픽셀과 제2 픽셀을 포함하는 기판, 깊은 소자분리패턴, 및 오픈 영역을 포함하고, 제1 및 제2 픽셀들 각각은 제1 광전 변환 소자를 포함하는 제1 픽셀 영역, 및 제2 광전 변환 소자를 포함하고, 제1 픽셀 영역과 제1 방향으로 배치되는 제2 픽셀 영역을 포함하고, 깊은 소자분리패턴은 제1 픽셀 영역 및 제2 픽셀 영역 사이에 배치되는 제1 부분, 제1 픽셀의 제1 픽셀 영역 및 제2 픽셀의 제1 픽셀 영역 사이에 배치되는 제2 부분, 제1 픽셀의 제2 픽셀 영역 및 제2 픽셀의 제2 픽셀 영역 사이에 배치되는 제3 부분, 및 제1 픽셀 및 제2 픽셀을 둘러싸고, 제1 내지 제3 부분들과 물리적으로 연결된 제4 부분을 포함하고, 오픈 영역은 제1 픽셀 영역과 제2 픽셀 영역 사이의 일부를 오픈하고, 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 제1 부분에 이웃하고, 제1 및 제2 픽셀들 각각의 가장 자리에 배치되는 제1 오픈 영역, 및 제1 픽셀 및 제2 픽셀 사이의 일부를 오픈하고, 제2 부분 및 제3 부분 사이에 배치되는 제2 오픈 영역을 포함한다.