TEMPERATURE SENSOR ASSEMBLY AND SUBSTRATE HEATING APPARATUS

본 발명은 기판을 가열하는 히터 플레이트의 온도를 측정하는 온도 센서 어셈블리를 제공한다. 온도 센서 어셈블리는, 상기 히터 플레이트와 접촉하여 상기 히터 플레이트의 온도를 측정하는 온도 센서; 상기 온도 센서와 연결되는 고정 블록; 상기 고정 블록에 형성된 볼트 홀에 삽입되며, 상기 히터 플레이트와 고정 샤프트를 통해 연결되는 방열 플레이트에 고정되는 고정 볼트; 및 상기 고정 볼트에 끼워지며 상기 고정 블록을 상기 히터 플레이트를 향하는 방향으로 밀어 올리는 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함할 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE JONG IN, NOH HYOUNG RAE
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 기판을 가열하는 히터 플레이트의 온도를 측정하는 온도 센서 어셈블리를 제공한다. 온도 센서 어셈블리는, 상기 히터 플레이트와 접촉하여 상기 히터 플레이트의 온도를 측정하는 온도 센서; 상기 온도 센서와 연결되는 고정 블록; 상기 고정 블록에 형성된 볼트 홀에 삽입되며, 상기 히터 플레이트와 고정 샤프트를 통해 연결되는 방열 플레이트에 고정되는 고정 볼트; 및 상기 고정 볼트에 끼워지며 상기 고정 블록을 상기 히터 플레이트를 향하는 방향으로 밀어 올리는 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함할 수 있다.