소형 폼 팩터를 갖는 형광 프로브를 사용한 기판의 선택적 마킹

기판 검사의 부분으로서, 광휘성 재료가 기판의 부분에 도포될 수 있다. 광휘성 재료는 코일형의 거시적인 분자 형상 및 메타 결합 또는 직교 결합을 갖는 공액 폴리머를 포함한다. 기판은 검사 시스템을 사용하여 이미징된다. 공액 폴리머는, 예를 들어, PPE(poly(m-phenylene ethynylene)) 또는 PPV(para-phenylene vinylene)일 수 있다. A photoluminescent material can be applied to part of a substrate as part of substrate i...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KIM JINSANG, CHEN GRACE H
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MATERIALS THEREFOR MEASURING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	기판 검사의 부분으로서, 광휘성 재료가 기판의 부분에 도포될 수 있다. 광휘성 재료는 코일형의 거시적인 분자 형상 및 메타 결합 또는 직교 결합을 갖는 공액 폴리머를 포함한다. 기판은 검사 시스템을 사용하여 이미징된다. 공액 폴리머는, 예를 들어, PPE(poly(m-phenylene ethynylene)) 또는 PPV(para-phenylene vinylene)일 수 있다. A photoluminescent material can be applied to part of a substrate as part of substrate inspection. The photoluminescent material includes a conjugated polymer having a coiled macroscopic molecular shape and a meta-linkage or an ortho-linkage. The substrate is imaged using an inspection system. The conjugated polymer can be, for example, poly(m-phenylene ethynylene) (PPE) or poly(para-phenylene vinylene) (PPV).