유연한 스탬프 및 유연한 스탬프의 제조 방법

본 발명은 임프린팅, 특히 나노 임프린팅을 위해 구성되는 유연한 스탬프, 그리고 그러한 스탬프를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. 스탬프는 실질적으로 유연한 기판을 포함하고, 상기 기판은 적어도 하나의 텍스쳐된 영역, 적어도 하나의 기능적 엘리먼트, 및 적어도 하나의 기능적 엘리먼트에 연결되거나 연결 가능한 적어도 두 개의 전도성 트랙을 포함한다. The invention relates to flexible stamp configured for imprinting, in particular nanoimprinting, and a...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	NEELEN ROB ANTONIUS WALTHERUS, DEKKER TIM, TER MEULEN JAN MATTHIJS
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 임프린팅, 특히 나노 임프린팅을 위해 구성되는 유연한 스탬프, 그리고 그러한 스탬프를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. 스탬프는 실질적으로 유연한 기판을 포함하고, 상기 기판은 적어도 하나의 텍스쳐된 영역, 적어도 하나의 기능적 엘리먼트, 및 적어도 하나의 기능적 엘리먼트에 연결되거나 연결 가능한 적어도 두 개의 전도성 트랙을 포함한다. The invention relates to flexible stamp configured for imprinting, in particular nanoimprinting, and a method for manufacturing such stamp. The stamp (200) comprises a substantially flexible substrate (201), said substrate comprising at least one textured area (202), at least one functional element (203) and at least two conductive tracks (204) which are connected or connectable to the at least one functional element.